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最终清洗机

所属分类：

最终清洗机

产品简介

用于硅片最终出货前的清洗，根据客户需求进行槽体工艺流程的定制，以满足金属、颗粒、产量等条件。

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产品介绍

产品规格：

1、适用范围：8寸/12寸硅片
2、工艺流程：槽式批次清洗，客户定制；
3、产能：100，000 ~150,000 pcs/month，依据工艺流程；
4、搬运方式：cassette ; cassette less；
5、主要功能槽体：SC-1附摇摆和兆声；HF/HCL；O3 ；QDR；LIFT Dry 等；
6、上下料：Foup in Foup out ，可对应OHT；
7、设备通讯：SECS/GEM ；

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