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浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区双联路129号

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产品简介

用于Lapping后的硅片腐蚀，用酸液和碱液对硅片表面进行均一可控的腐蚀，已改善其TTV表现，根据客户需求，可兼备一定的清洗功能。

产品介绍

产品规格：

1、适用范围：8寸/12寸硅片
2、工艺流程：槽式批次清洗，客户定制；
3、产能：依据工艺流程及腐蚀量；
4、搬运方式：可选，cassette/cassette less；
5、设备通讯：SECS/GEM ；

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