LAPPING后清洗机( PLC)
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LAPPING后清洗机( PLC)

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产品简介

用于硅片LAPPING后倒角前的清洗,去除前序留下的大颗粒、Slurry等,根据客户需求,定制工艺流程,达到预期洁净度。

产品介绍

产品规格:

1、适用范围:8寸&12寸硅片
2、工艺流程:槽式批次清洗,客户定制;
3、产能:依据工艺流程;
4、搬运方式:PFA cassette & cassette less;
5、设备通讯:SECS/GEM ;


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